上海辰仪测量技术有限公司

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2025-10
真空测量的特点测量压力范围宽,105~10-14Pa。2大部分真空计是间接测量,只有压力为105~10Pa时,可直接测单位面积所受的力。3采用电测技术,反应迅速,灵敏度高,可实现自动化。4大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所
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2025-10
微压差真空计(差压规)测量两个腔室压差,量程1~10⁻⁴Pa,精度±0.1%。应用包括检漏仪(氦质谱仪参考端压力监控)和分子泵前级压力控制。硅谐振式传感器(如横河EJA系列)温度稳定性达±0.1%FS/年。20.真空计的未来发展趋
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2025-10
真空镀膜技术真空蒸发镀膜将材料加热至汽化,在基板上冷凝成膜;溅射镀膜用离子轰击靶材喷射原子。应用于眼镜防反射膜(MgF₂)、手机屏幕ITO导电膜。磁控溅射速率可达μm/min,膜层均匀性±1%。真空环境避免氧化,膜厚可控至纳米级,
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2025-10
超高真空测量技术10⁻⁶Pa以下需抑制规或磁悬浮转子规(SpinningRotorGauge)。后者通过转子转速衰减测压力,量程10⁻¹~10⁻⁷Pa,精度±3%,***测量无需校准。X射线极限(10⁻⁹Pa)是电离规的理论下限,
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2025-10
超高真空测量技术10⁻⁶Pa以下需抑制规或磁悬浮转子规(SpinningRotorGauge)。后者通过转子转速衰减测压力,量程10⁻¹~10⁻⁷Pa,精度±3%,***测量无需校准。X射线极限(10⁻⁹Pa)是电离规的理论下限,
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真空计相关知识真空计的通信接口现代真空计标配RS485/Modbus协议,**型号支持EtherCAT(延迟<1μs)。数字输出可减少模拟信号噪声,如电离规的离子电流低至10⁻¹²A。物联网型真空计集成自诊断功能(如INFI
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