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2025-11
星期 三
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上海高纯度真空计公司 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
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2025-11
星期 三
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上海金属真空计公司 上海辰仪测量技术供应
1.机械式真空计机械式真空计通过物理形变或液柱高度差来测量压力，适用于粗真空和低真空范围。（1）U型管压力计原理：利用液柱（如水或汞）的高度差测量压力。测量范围：通常为大气压到约1Torr（133Pa）。优点：结构简单、成本低。缺
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2025-11
星期 三
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上海陶瓷真空计 上海辰仪测量技术供应
1.机械式真空计机械式真空计通过物理形变或液柱高度差来测量压力，适用于粗真空和低真空范围。（1）U型管压力计原理：利用液柱（如水或汞）的高度差测量压力。测量范围：通常为大气压到约1Torr（133Pa）。优点：结构简单、成本低。缺
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2025-11
星期 三
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上海大气压真空计 上海辰仪测量技术供应
3.电离真空计电离真空计通过电离气体分子来测量压力，适用于高真空和超高真空范围。（1）热阴极电离真空计原理：利用热阴极发射电子电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹⁰Torr到10⁻³Torr。优点：精度高、测量范
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2025-11
星期 三
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上海mems电容真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
选择真空计应该注意什么6.安装与接口安装方式：根据系统设计选择合适的安装方式，如法兰连接、螺纹连接等。接口兼容性：确保真空计的接口与系统兼容。7.电源与信号输出电源需求：选择符合系统电源要求的真空计。信号输出：根据需求选择模拟信号
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